アクティブ姿勢制御システム(active attitude control system)とは

空気ばね式防振システムは機器搭載用ベンチ,空気ばね,防振架台より構成される.また搭載機器の形状や重量分布および振動によって,架台に対して空気ばねによって支持された機器搭載用ベンチは傾くが,この傾きはメカニカルレベルセンサによってエアの給排気をおこなわせ,エアタンクの空気圧を調整することによって一定の水平位置を保つ構造になっている.しかしこのようなメカニカルレベルセンサによる水平調整の精度は通常:±1 mm程度しか得られず,かつ高さ方向に限る.active attitude controlは従来の空気ばね式防振システムにおける機器搭載用ベンチを,初期に設定した位置を目標位置として変位センサとアクチュエータおよび制御部を用いて3次元空間において制御するンステムである.制御精度は2 μmである.